碳化硅厂 世界一流碳化硅（SiC）衬底厂商的发展

在过去的30年中，诸如Cree碳化硅厂，Westinghouse，Northrop-Grumman碳化硅厂，ATMI，Sterling，Litton-Airtron，Dow和Intrinsic等公司已经兴起和衰落。幸运的是，如今衍生的公司仍然存在于Wolfspeed-Cree，II-VI和SKSiltron中。商业和军事对SiC衬底的需求正在迅速增长。强大的国内工业基础对于支持广泛的商业化至关重要。 2019年9月，Wolfspeed-Cree宣布承诺投资10亿美元建立世界上最大的SiC功率和RF制造工厂。以期望在2020年将200mm的SiC单晶衬底应用在器件制作中，使得未来产能拓展30倍。另外，II-VI继续扩展其在新泽西州，宾夕法尼亚州和密西根州的制造工厂。II-VI的长期财务承诺与政府发展资金相结合，为建立世界一流的商用200毫米SiC衬底供应链提供了支持。 II-VI在提高制造能力以在不断扩展的市场中竞争方面取得了长足的进步。他们的100毫米和150毫米工艺的制造成熟度超过了MRL8。不久前，以成本和规模来设想制造SiC衬底是不可能的。

《世界一流碳化硅（SiC）衬底厂商的发展历程》

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